型号： Regulus 8230
厂家： 日本 日立公司
技术指标:

  电子枪（灯丝）加速电压：0.5-30KV；

  分辨率: ≤0.6nm@15kV  (工作距离4mm);  ≤0.7nm@1kV （工作距离1.5mm）；

  放大倍数范围：×20-×200万；

  电子束流：1pA-20nA；

  工作距离：1.5 ~ 40 mm；

  样品移动：X：0 -110mm；Y：0 -110mm；Z：1.5 – 40mm；R = 360°连续旋转；

  样品倾斜角：-5 ～ +70°；

  样品尺寸：最大4英寸；

  EDS能量分辨率：优于127eV；

  元素分析范围：Be4~Cf98；

  探测器晶体有效面积：65mm²

责任工程师：田士兵

联系方式：82648198; tianshibing@iphy.ac.cn

仪器位置：M楼超净间千级区

        Regulus8230冷场扫描电镜是集冷场扫描电子束系统、高分辨观察和大束流分析功能于一体的扫描电镜，其完全秉承以往冷场发射扫描电镜的全部优点，还大幅提高了探针电流，并极大增强了电流的稳定性，可实现自动flash，无需等待，这些优点使得其在低加速电压下其具有长时间连续实现高分辨观察和分析的功能。该电镜可用于各种材料的组织形貌、微区结构、断口形貌等高分辨率观察、表征与分析，尤其是可以直接观察绝缘及导电性差的样品形貌与结构。该仪器具有超高分辨率特点，最分辨率可达0.6nm。此外，该设备还配置了电制冷能谱仪，可通过电分析、线扫描及面分布等功能，实现样品表面的元素分布及含量表征。是研究和表征低维材料和超小尺寸器件的重要工具。