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工作进展
2010年微加工实验室作为物理所、科学院和基金委纳米制造重大研究计划的公共技术平台,在所内外各级领导的关怀下、在广大科技人员的支持下,开放程度进一步提高,引进并研制了一批新型纳米结构与器件加工与测量设备,微纳加工能力得到进一步完善和明显增强,在纳米结构与器件的微纳加工方面取得了一批有特色的成果,有效地配合了物理所各实验室和所外研究单位的科研工作,对他们所承担的国家项目的高水平完成起到了明显的促进作用,为科研工作提供了有力的技术支撑。
这里展示了我们的2010年工作进展,欢迎您提出宝贵意见或建议。
微加工简报
2005-1
2005-2
2005-3
2005-4
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