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		工作进展　微加工实验室作为物理所公共技术平台，在所领导和各实验室人员的关心与支持下，在低维人工结构与原型器件的微加工技术研究方面取得了一批有特色的成果，有效地配合了各实验室的科研工作，对各实验室所承担的国家项目的高水平完成起到了积极的促进作用。这里展示了我们的2009年工作进展，欢迎您提出宝贵意见或建议。　微加工简报 2005-1 2005-2 2005-3 2005-4 　 2006-1 2006-2 2006-3 2006-4 　 2007-1 2007-2 2007-3 2007-4 　 2008-1 2008-2 2008-3 2008-4 　 2009-1 2009-2 2009-3 2009-4 2010-1 2010-2