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		工作进展　 2011年是微加工实验室建立十周年。十年来，作为物理所、科学院和基金委纳米制造重大研究计划的公共技术平台，在所内外各级领导的关怀下、在广大科技人员的支持下，微加工实验室的装备和技术能力不断壮大，对所内外纳米科技与相关领域的研究起到了不可替代的支撑作用，成为国内外微纳加工领域具有影响的开放平台。2011年，微加工实验室在纳米结构与器件的微纳加工方面取得了一批有特色的成果，有效地配合了物理所各实验室和所外研究单位的科研工作，对他们所承担的国家项目的高水平完成起到了明显的促进作用，为科研工作提供了有力的技术支撑。这里展示了我们的2011年工作进展，欢迎您提出宝贵意见或建议。　微加工简报 2005-1 2005-2 2005-3 2005-4 　 2006-1 2006-2 2006-3 2006-4 　 2007-1 2007-2 2007-3 2007-4 　 2008-1 2008-2 2008-3 2008-4 　 2009-1 2009-2 2009-3 2009-4 2010-1 2010-2 2010-3 2010-4 2011-1 2011-2