型号： Eitre-3
厂家： 瑞典Obducat公司
技术指标:
  压印精度：20nm
  重复性：±10nm（pitch）
               ±15nm（depth）
  压印温度范围：室温至200°C
  最大压力：70 Bar
  冷却方式：气冷
  模板尺寸：77mm
  基座尺寸：10-77mm
  扩展附件：紫外光源（波长250-450nm，功率40-100mW/cm2）、加热台（升温速度0.5-1K/sec）
责任工程师：金爱子

    采用气体软压技术，压印均一性与一致性良好。可分别独立采用热压、紫外聚合，也可以将热压紫外聚合联合使用。典型使用领域：光子晶体、亚波长光学器件、OLED、生物微沟道、有机薄膜晶体管等。