型号： Savannah-100
厂家： 美国Cambridge NanoTech Inc
技术指标:
 （1）主要沉积高K介电薄膜，如Al₂O₃, HfO₂, ZrO₂等.
 （2）沉积的薄膜致密无漏点，大面积(up to 100mm)且均匀性好(<1%）.
 （3）薄膜可低温生长(从室温到350℃)，膜厚可精确控制在～1Å.
 （4）极好的台阶、孔洞等三维覆盖率，可广泛适用于各种形状的基底.
 （5）配有系统控制软件平台，可编辑工作程序进行多层不同薄膜的沉积。
责任工程师：耿广州

    微纳电子学、纳米材料及相关器件等领域，可作为集成电路中MIM电容器涂层，防反射包覆层，多层结构光学电介质，有机发光显示器抗湿涂层以及应用在太阳能电池和MEMS微机电系统等领域。