微加工实验室具有配套齐全的先进微纳加工与表征设备，可为所内外提供各种微纳加工相关的技术服务，加工结构的维度涵盖从零维到三维结构，加工尺度的跨越从几个纳米到几百微米，加工材料的范围包括硅基与III-V组半导体材料、石墨烯与其他碳基材料、介质材料、金属与金属氧化物材料、高分子聚合物材料和生物材料等，加工的器件种类繁多如：场效应管、超导器件、磁存储器件、纳米光学器件、单光子与单电子器件、生物器件、传感与探测器件、等离激元器件、新能源器件及仿生器件等各种前瞻性功能器件。

       用户若希望独立操作设备进行实验，须申请并参加微加工实验室仪器设备独立操作培训，获得资格后可进入超净间预约和独立使用微加工设备开展科研工作。若希望由设备工程师进行实验，须根据需要提出微加工服务申请，可先下载“微加工实验室对外加工服务申请及受理表”（见“申请表格”1），经实验室确认后回复受理表，然后由相关工作人员安排所需的加工工艺直至完成加工任务。

       微加工实验室所外技术服务联系人：杨海方：电话82649831，E-mail：hfyang@iphy.ac.cn， 也可与仪器设备责任工程师联系（详见网内"仪器设备"部分）。