微加工实验室位于C楼东侧，超净间面积300余平米，微纳加工设备配备齐全

微加工实验室位于物理所M楼西配楼，超净间面积达730平米，配备了最先进的微纳加工设备

微加工实验室千级超净间内配有聚焦离子束系统、反应离子刻蚀、白光干涉仪、傅立叶变换红外光谱仪、超声引线仪等设备

微加工实验室百级超净间内配有电子束曝光、纳米压印、三维激光直写、激光干涉曝光等设备以及配套的涂胶系统

在微加工实验室走廊内可将所有设备尽收眼底......