中国科学院物理研究所微加工实验室

仪器设备

● 加工设备

● 刻蚀设备

● 沉积设备

● 测量设备

● 辅助设备

半导体特性测量系统

型号： 4200-SCS/F
厂家： Keithley
技术指标:
配置4个中功率源测量单元（SMU），电流最大100mA，电压最大200V，增配远端前置放大器，电流测量分辨率可达0.1fA。
配置变频CV测量单元，频率范围：10KHz-10MHz。

责任工程师：田士兵

联系方式：82648198; tianshibing@iphy.ac.cn

仪器位置：M楼超净间千级区

主要功能及应用范围：

电学特性测量，适用于各种纳米材料器件的电导和电容特性表征。