中国科学院物理研究所微加工实验室

仪器设备

● 加工设备

● 刻蚀设备

● 沉积设备

● 测量设备

● 辅助设备

表面形貌仪

型号： DektakXT
厂家： 美国布鲁克公司
技术指标:
扫描长度：55mm
样品最大厚度：50mm
高度重复精度：<5Å
最大样品尺寸：8 in
责任工程师：金爱子

联系方式：82648198; azjin@iphy.ac.cn

仪器位置：C楼超净间千级区

主要功能及应用范围：

主要用于膜厚测量，应力分析，表面形貌分析.无论是用于科学研究还是工业生产，探针式表面轮廓仪都具有非常好的表现性能，测量重复性和扫描范围均佳。