仪器设备独立操作培训：
为了满足物理所各实验室课题组在微纳加工方面的科研需求，微加工实验室每月举办一次仪器设备独立操作培训，培训人员范围包括物理所在籍的研究生、博士后和研究人员，培训仪器设备包括各种微纳加工设备、刻蚀设备、沉积设备和表征测量设备等，整个培训过程按照规定流程进行，培训完成并经考核合格后，将获得微加工实验室仪器设备独立操作资格证书，可以预约实验室各种仪器设备并独立操作使用，开展各项科研工作。
培训流程：
培训设备种类及培训老师：
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编号
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设备
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培训老师
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1
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聚焦离子束系统 (两台)
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金爱子
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2
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氦氖离子显微镜
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田士兵
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3
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电子束曝光系统 (Raith 150)
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杨海方
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4
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电子束曝光系统 (JEOL 6300FS)
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耿广州
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5
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紫外光刻 (两台)
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全保刚
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6
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激光三维直写
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全保刚
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7
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激光直写系统
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杨海方
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8
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纳米压印
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金爱子
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9
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反应离子刻蚀 (两台)
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张忠山
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10
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电感耦合等离子体反应离子刻蚀 (两台)
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张忠山
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11
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离子束刻蚀 (两台)
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全保刚
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12
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微波等离子体去胶机
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杨海方
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13
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原子层沉积
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耿广州
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14
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热蒸发 (两台)
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宿非凡
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15
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电子束蒸发 (两台)
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宿非凡
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15
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超高真空电子束蒸发系统
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宿非凡
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16
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等离子体增强化学气相沉积 (两台)
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张忠山
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17
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切片机
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张忠山
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18
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台阶仪 (两台)
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金爱子
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19
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引线仪 (两台)
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金爱子
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20
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原子力显微镜 (两台)
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田士兵
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21
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椭偏仪
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宿非凡
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22
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低温四探针电学测试平台
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田士兵
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23
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快速退火炉
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宿非凡
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24
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白光干涉三维成像系统
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宿非凡
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25
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纳米压痕仪
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金爱子
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培训时间安排：
自2018年度开始，微加工设备培训方式由春秋两次培训改为每月即时培训的模式，每月底进行一次超净间安全培训，然后依次安排用户的设备培训和考核。
仪器独立操作资格证书样本：
