型号： AccuThermo AW410
厂家： 美国Allwin21 Corp公司
技术指标:
   腔体尺寸：4英寸
   温度范围：30-1250℃
   温度测量精度：±0.15℃
   温度控制重复性：±0.5℃
   温场均匀性：±1℃
   升降温速率：10-80 ℃/sec（可编程控制）
   工艺气体：N₂；O₂

     通过辐射加热、水冷以及高精度温度探测与气体流量控制，在特定气氛中，精确地控制样品的快速加温、降温过程；利用快速退火可实现应力释放、合金化、注入激活、硅化物形成、氧化层生长等多种功能。