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仪器设备
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加工设备
> 电子束曝光系统
> 电子束曝光 JBX-6300FS
> 聚焦离子束系统 DB235
> 聚焦离子束系统 Helios
> 氦氖离子显微镜 ORION
> 紫外曝光系统
> DTL光学曝光系统
> 飞秒激光三维直写系统
> 激光直写设备
> 纳米压印机
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刻蚀设备
> ⅢⅤ半导体等离子体刻蚀
> 反应离子刻蚀 Plasma80
> 反应离子刻蚀 NGP80
> 离子束刻蚀系统
> 电感耦合等离子体反应离子刻蚀 Plasma100
> 电感耦合等离子体反应离子刻蚀 Cobra
> 微波等离子体去胶机
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沉积设备
> 超高真空电子束蒸发系统
> 热蒸发系统 DZ-300
> 原子层沉积系统
> 电子束蒸发系统 Peva-600E
> 电子束蒸发系统 FU-12PEB
> 等离子体增强化学气相沉积
> 化学气相沉积系统 ICP-PECVD
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测量设备
> 超高分辨场发射扫描电镜
> 傅立叶变换光谱仪
> 纳米压痕仪
> 扫描探针显微镜 Bruker
> 半导体特性测量系统
> 椭偏仪
> 多通道电化学工作站
> 表面形貌仪
> 白光干涉表面形貌仪
> 低温四探针电学测试平台
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辅助设备
> 临界点干燥仪
> 切片机
> 快速退火炉
> 超声波引线仪
> 显微镜
扫描探针显微镜
型号:
Dimension Edge
厂家:
德国布鲁克公司
技术指标:
最大扫描范围:90μm×90μm×10μm
Z方向噪音水平:<0.05nm
光学辅助系统,视场范围:180um~1465um
样品最大尺寸:ɸ150mm×15 mm
样品台移动范围:150mm×150mm
责任工程师:
田士兵
联系方式:
82648198; tianshibing@iphy.ac.cn
仪器位置:
M楼超净间千级区
主要功能及应用范围:
原子力显微镜是利用原子,分子间的相互作用力来观察物体表面微观形貌的,可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。该型号主要有接触模式、轻敲模式和磁力显微镜模式。