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仪器设备
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加工设备
> 电子束曝光系统
> 电子束曝光 JBX-6300FS
> 聚焦离子束系统 DB235
> 聚焦离子束系统 Helios
> 氦氖离子显微镜 ORION
> 紫外曝光系统
> DTL光学曝光系统
> 飞秒激光三维直写系统
> 激光直写设备
> 纳米压印机
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刻蚀设备
> ⅢⅤ半导体等离子体刻蚀
> 反应离子刻蚀 Plasma80
> 反应离子刻蚀 NGP80
> 离子束刻蚀系统
> 电感耦合等离子体反应离子刻蚀 Plasma100
> 电感耦合等离子体反应离子刻蚀 Cobra
> 微波等离子体去胶机
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沉积设备
> 超高真空电子束蒸发系统
> 热蒸发系统 DZ-300
> 原子层沉积系统
> 电子束蒸发系统 Peva-600E
> 电子束蒸发系统 FU-12PEB
> 等离子体增强化学气相沉积
> 化学气相沉积系统 ICP-PECVD
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测量设备
> 超高分辨场发射扫描电镜
> 傅立叶变换光谱仪
> 纳米压痕仪
> 扫描探针显微镜 Bruker
> 半导体特性测量系统
> 椭偏仪
> 多通道电化学工作站
> 表面形貌仪
> 白光干涉表面形貌仪
> 低温四探针电学测试平台
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辅助设备
> 临界点干燥仪
> 切片机
> 快速退火炉
> 超声波引线仪
> 显微镜
白光干涉表面形貌仪
型号:
Bruker Contour GT
厂家:
德国布鲁克公司
技术指标:
双 LED 光源 (白光和绿光)
垂直测量范围: 0.1nm 至 10mm
垂直分辨率: <0.1nm
RMS 重现性: 0.0 1nm
垂直扫描速度:可达 28.1 微米 /秒
倾斜调制范围:± 6°
可测量的样品反射率范围
:1 % to 100%
样品台移动范围: 150mm (XY轴) /100mm(Z 轴)
责任工程师:
耿广州
联系方式:
82649098; genggz@iphy.ac.cn
仪器位置:
M楼超净间千级区
主要功能及应用范围:
采用白光干涉三维成像原理工作,配备垂直扫描和相位偏移扫描模式,可以在大气环境下非接触测量金属、陶瓷、塑料等台阶高度、表面粗糙度及三维形貌信息等。尤其适用于不能通过接触测试的软物质表面。