型号： PlasmaPro NGP80
厂家： 英国牛津仪器
技术指标:
  反应气体：O₂, Ar, CF₄，CHF₃，SF₆
  RF最大功率：300W
  电极尺寸：240mm
  刻蚀材料：硅基材料
  最大晶片尺寸：4英寸

    主要用于硅基材料的刻蚀，包括硅、氧化硅、氮化硅等，可用于各种微纳器件与结构的制作，如：微纳电子器件，光电子器件，生物传感器，微纳机电系统，超导电子学器件，磁电子学器件等，也是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要辅助工具。