型号： GES5E
厂家： Semilab
技术指标:
   光源：氙灯75 W；

   光谱波长：UV-VIS 230-900 nm；光波的FWHM< 0.5 nm，单色性好

   光斑尺寸：1 - 5 mm

   到达样品上的常规光斑尺寸：3 mm X 12 mm ( 75°入射角时)

   精度与重复性：1200 Å SO₂/Si标样测量: 厚度重复性0.5 Å; 精度5 Å

   数据处理软件：WinElli 2

    用于半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质的薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的高质量光谱测试与分析