型号： FU-12PEB-500
厂家： 台湾富临科技工程股份有限公司
技术指标:
 （1）极限真空：3 ×10^-7Torr(12hr).
 （2）样品最大尺寸：4英寸
 （3）薄膜均匀性：≤3%
 （4）最高加热温度：300℃
 （5）工艺气体：O₂、N₂
 （6）电子枪最大功率：10KW

    富氧电子束蒸发系统可实现氧化物、氮化物薄膜沉积，如TiO₂、Al₂O3、SiO₂等。