中国科学院物理研究所微加工实验室

仪器设备

● 光刻单元

● 刻蚀单元

● 沉积单元

● 表征单元

● 辅助单元

离子溅射仪 ISC150+RPS20

型号： ISC150+RPS20
厂家：深圳速普仪器
技术指标:

最大样品尺寸：2cm×2cm

靶材尺寸：50mm

射频功率：20W

射频电压：0-800V

Pt溅射速率：≥15nm/min

Au溅射速率：≥20nm/min

责任工程师：张忠山

联系方式：82649098/81258505; zhangzs@iphy.ac.cn

仪器位置：怀柔微纳加工实验室超净间

主要功能及应用范围：

离子溅射仪可快速沉积Pt薄膜，可用于SEM样品的喷金处理。