中国科学院物理研究所微加工实验室

真空烘箱 EVO229

型号： EVO229
厂家： 德国 Vacucell
技术指标:
样品最大尺寸: 8 英寸
温度范围：室温~300℃
控温精度:±0.2℃
真空精度: ＜±0.2bar
极限真空: 7mbar
责任工程师：潘如豪

联系方式：81258505;panruhao@iphy.ac.cn

仪器位置：怀柔微纳加工实验室超净间

主要功能及应用范围：

用于满足高要求光刻胶烘烤，可进行无氧真空烘烤。