中国科学院物理研究所微加工实验室

仪器设备

● 光刻单元

● 刻蚀单元

● 沉积单元

● 表征单元

● 辅助单元

超声引线仪 7476D

型号： 7476D
厂家： 美国West bond公司
技术指标:
铝线或金线，线径：25μm
键合压力：10-150g
最大超声功率：4W

最大样品尺寸：2cm×2cm
责任工程师：伦婷婷

联系方式：81258580; luntingting@iphy.ac.cn

仪器位置：怀柔微纳加工实验室超净间

主要功能及应用范围：

作为电子组装件生产工艺中的一部分，引线键合技术是一项超声摩擦焊接工艺，使芯片与各自的基板表面建立电连接。实验室主要用于制作各种微型器件的引线。