型号： DWL66+
厂家： 德国海德堡仪器公司
技术指标:
  写头分辨率：0.6μm/1μm/2μm
  写头直写速率：13/150/600（mm²/min）
  最大样品尺寸：8英寸
  最大样品厚度：6mm
  激光波段：405nm
  灰度直写阶数: 256级
  自动对焦精度：100nm
责任工程师：伦婷婷

 • 掩模板制作功能：制作紫外光刻掩膜版；
 • 光刻胶直写功能：在基片上直写亚微米到微米尺度的光刻胶图形；
 • 线宽距离测量功能：利用摄像头将已经完成显影或刻蚀的图形传到显示屏，再利用测量软件进行线宽、线距或坐标距离的量测；
 • 套刻直写功能：多次曝光工艺之间的套刻直写，套刻精度500nm；
 • 三维灰阶光刻功能：利用软件来控制激光的能阶，在光刻胶上实现三维光刻胶结构。