中国科学院物理研究所微加工实验室

仪器设备

● 光刻单元

● 刻蚀单元

● 沉积单元

● 表征单元

● 辅助单元

酸碱湿法腐蚀台

型号： 定制
厂家： 上鼎嘉诚
技术指标:
最大样品尺寸：8英寸
操作方式：手动 - 酸碱分开

加热最高温度：自加热100℃
腐蚀液流动方式：鼓泡

晶圆清洗方式: 去离子水超声
责任工程师：张忠山

联系方式：82649098/81258505; zhangzs@iphy.ac.cn

仪器位置：怀柔微纳加工实验室超净间

主要功能及应用范围：

酸碱湿法腐蚀台用于金属薄膜、半导体介质薄膜以及体硅衬底湿法腐蚀，还可以用于晶圆的RCA标准清洗。