中国科学院物理研究所微加工实验室

仪器设备

● 光刻单元

● 刻蚀单元

● 沉积单元

● 表征单元

● 辅助单元

白光干涉表面形貌仪 VS1800

型号： VS1800
厂家： 日本日立公司
技术指标:
最大样品尺寸：8英寸
垂直分辨率：0.1nm
最大高倾角：86°
样品最大高度：50 mm
垂直方向扫描速度：20μm/s

垂直方向扫描范围：10mm

责任工程师：潘如豪

联系方式：81258505; panruhao@iphy.ac.cn

仪器位置：怀柔微纳加工实验室超净间

主要功能及应用范围：

白光干涉表面形貌仪通过两束相干光的干涉条纹实现微米尺度结构与器件表面形貌的测量，具有垂直分辨率高的特点。