型号: ME-Mapping 厂家: 武汉颐光科技 技术指标: 光谱范围:380-1650nm;
光斑尺寸:200μm
最大样品尺寸:8英寸
重复性:≤0.005nm
自动对焦范围:0-20nm
椭偏指数:≤±0.5%