仪器设备

椭偏仪 ME-Mapping

型号: ME-Mapping
厂家: 武汉颐光科技
技术指标:
   光谱范围:380-1650nm;

   光斑尺寸:200μm

   最大样品尺寸:8英寸

   重复性:≤0.005nm

   自动对焦范围:0-20nm

   椭偏指数:≤±0.5%

责任工程师:张忠山
联系方式:81258505; zhangzs@iphy.ac.cn
仪器位置:怀柔微纳加工实验室超净间
主要功能及应用范围:
    用于半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质的薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的高质量光谱测试与分析