型号： OLS5100
厂家： 日本奥林巴斯公司
技术指标:
   最大样品尺寸：4英寸
   垂直分辨率：＜6nm
   x-y方向测试精度：＜120nm
   样品最大高度：10cm
   放大倍数范围：110X-8500X

   物镜配置：5X/10X/20X/50X

仪器位置：怀柔微纳加工实验室超净间

    激光共聚焦显微镜可以通过激光扫描的方式实现微纳样品结构的三维重建，并可以精确分析结构粗糙度、线宽、高度等尺寸信息。