仪器设备

激光切片机 HDZ-GCF-1000-3025

型号: HDZ-GCF-1000-3025
厂家: 大族激光
技术指标:
   样品最大尺寸: 8 英寸
   切割线崩边:<10μm@蓝宝石;<20μm@石英
   切割厚度:0.1~1.5mm
   切割误差: <0.02mm
   定位精度: <5μm
责任工程师:张忠山
联系方式:81258505;zhangzs@iphy.ac.cn
仪器位置:怀柔微纳加工实验室超净间
主要功能及应用范围:
     用于蓝宝石、石英、铌酸锂等透明高硬度衬底切割,以及晶圆上单芯片或单器件的裂片。