型号： DAD3351
厂家： 日本DISCO
技术指标:
   样品最大尺寸: 8 英寸
   切割线崩边：＜10μm
   切割厚度:＜1.5mm
   切割误差: ＜0.002mm
   行程:200 mm ×200mm
   定位精度: ＜5μm
责任工程师：张忠山

     用于砷化镓、氮化镓、碳化硅等不透明衬底裂片，以及晶圆上单芯片或单器件的裂片。