设备型号：EPS 150
厂家：Eoulu 技术指标:
真空度：＜400 mbar；
晶圆尺寸：25mm-150mm；
分辨率：5μm；
平整度：≤10μm；
θ方向移动范围：±8°；
定位器移动范围：12.5×12.5×12.5 mm3。
责任工程师：李瑶
