型号： Exploiter E200SP  
厂家： 深圳原速科技
技术指标:
   最大样品尺寸：8英寸
   生长温度：90-500℃
   温度控制精度：±1℃
   膜厚均匀性：≤3%
   等离子体源功率：500W

   臭氧产量：5g/h

   臭氧毁灭器处理能力：30L/h
责任工程师：季旭

    微纳电子学、纳米材料及相关器件等领域，可作为集成电路中MIM电容器涂层，防反射包覆层，多层结构光学电介质，有机发光显示器抗湿涂层以及应用在太阳能电池和MEMS微机电系统等领域。