中国科学院物理研究所微加工实验室

仪器设备

● 光刻单元

● 刻蚀单元

● 沉积单元

● 表征单元

● 辅助单元

台阶仪 DektakXT

型号： DektakXT
厂家： 德国布鲁克公司
技术指标:
扫描长度：180mm
样品最大厚度：50mm
高度重复精度：<5Å
最大样品尺寸：6英寸

最大扫描高度：900μm
责任工程师：伦婷婷

联系方式：81258580; 伦婷婷@iphy.ac.cn

仪器位置：怀柔微纳米加工平台超净间

主要功能及应用范围：

主要用于膜厚测量，应力分析，表面形貌分析.无论是用于科学研究还是工业生产，探针式表面轮廓仪都具有非常好的表现性能，测量重复性和扫描范围均佳。