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实验室简介
研究方向
人员构成
仪器设备
技术培训
用户指南
信息反馈
新闻信息
2023.05.29
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关于举办2024年微纳米加工技术讲习班的通知
2022.11.02
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北京市及怀柔区经济和信息化局领导到物理所怀柔研究部微纳加工平台调研
2022.11.02
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清华大学精仪系曹良才教授率课题组访问物理所怀柔研究部微纳米加工平台
2022.08.15
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多波段主动变焦超透镜研究
2022.07.12
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北京理工大学分析测试中心许冰主任一行参观怀柔微纳米加工平台
2022.06.27
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怀柔微纳加工平台公众号及设备预约小程序正式上线
2022.03.17
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北京市科技计划“光学超表面器件研制共性技术平台建设”课题进展研讨及用户交流会在怀柔园区召开
2022.03.17
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微加工实验室耿广州、李瑶在“2022牛津仪器-华慧芯等离子微纳加工成果展示大赛”上获奖
2022.01.30
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微纳米加工平台第三批设备顺利通过技术验收
2021.12.27
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清华大学精仪系/启元实验室阮勇研究员一行参观微纳米加工平台
2021.11.30
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方忠所长莅临怀柔微纳米加工平台指导工作
2021.11.30
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清华大学核研院何向明教授一行参观怀柔微纳米加工平台
2021.10.15
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怀柔微纳米加工平台子系统顺利通过院组织的首批性能工艺测试
2021.10.15
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国际合作研究中心成员岑诚参观微加工实验室
2021.10.15
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微纳米加工平台第二批设备顺利通过技术验收
2021.07.23
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北京市科委领导参观调研微加工实验室
2021.07.22
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微加工实验室成功举办“2021年微纳米加工技术讲习班”
2021.06.30
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微加工实验室组织EDS应用培训会
2021.05.30
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北京理工大学分析测试中心彭绍春主任一行参观调研微加工实验室
2021.05.18
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关于举办微纳米加工技术讲习班的通知
2021.05.14
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具有非对称手性的三维弯曲超表面
2021.05.14
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北京市科委信息材料处及双新中心领导调研微加工实验室
2021.04.28
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基于软模板的原子层组装技术实现多重纳米结构的精准调控加工
2021.03.23
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怀柔微纳加工实验平台首批设备顺利通过技术验收
2021.03.03
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Nature Communications 上发表微加工实验室最新研究进展
2021.02.07
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微纳加工平台在“怀柔园区2021年度工作计划交流会”上做子系统进展汇报
2021.01.19
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微加工实验室组织超高分辨扫描电镜高级应用培训会
2021.01.04
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微加工实验室2020年终总结会
2020.12.02
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怀柔微纳加工实验平台洁净系统顺利通过技术验收
2020.10.27
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微加工实验室成功召开“光学超表面微纳加工共性平台与技术攻关“研讨会
2020.09.21
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北京市科委新材料和新能源科技发展中心调研微加工实验室
2020.09.09
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微加工实验室安全培训顺利举行
2020.08.24
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微加工实验室设备培训介绍
2020.08.11
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微加工实验室引进化学气相沉积系统(ICP-PECVD)
2020.08.11
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微加工实验室引进高分辨扫描电子显微镜(Hitachi Regulus8230)
2019.12.27
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日本NTT主任研究员章国强来我所作学术交流报告
2019.12.20
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Materials Views China 报道微加工实验室最新科研进展
2019.12.02
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微加工实验室承办国家重点研发计划“纳米科技”专项2019年度总结会
2019.07.12
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微加工实验室成功举办“2019年微纳米加工技术讲习班”
2019.05.27
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关于举办微纳米加工技术讲习班的通知
2018.12.25
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中科院物理所微加工实验室诚聘关键技术人才和仪器工程师
2018.12.25
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2018年度微加工实验室研究进展
2018.12.20
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三维手性超材料的折叠加工及自旋光分辨与选择性传输特性的研究取得重要进展
2018.12.11
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2018年度微加工实验室个人获奖名单
2018.09.16
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微加工实验室潘如豪等人在2018年第九届中国FIB技术及学术交流研讨会中获奖
2018.11.02
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微加工实验室成功举办2018年 第九届中国FIB技术及学术交流研讨会
2018.11.02
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微加工实验室学术报告-“凝聚态物理-中关村论坛”第344次讲座
2018.10.11
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微加工实验引进He/Ne离子显微镜等新设备介绍会
2018.09.16
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微加工实验室博士研究生朱维在中国物理学会2018年秋季学术会议中荣获优秀墙报奖
2018.09.11
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微加工实验室公共技术报告
2017.07.19
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微加工实验室成功举办“2018年微纳米加工技术讲习班”
2018.05.25
>
关于举办微纳米加工技术讲习班的通知
2018.05.25
>
微加工实验室公共技术报告
2017.10.23
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微加工实验室系列学术报告
2017.10.23
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微加工实验室系列学术报告
2017.09.11
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微加工实验室博士研究生王超在中国物理学会2017年秋季学术会议中荣获优秀海报奖
2017.09.04
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2017年微加工设备秋季培训
2017.09.04
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微加工实验室主办“凝聚态物理-中关村论坛”第308次讲座 ——《纳米加工技术在基础科学研究中的应用》
2017.08.18
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微加工实验室参加第八届人工超材料、光子晶体及等离激元研究国际会议(META17)
2017.07.20
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微加工实验室唐成春参加第17届原子层沉积暨第4届原子层刻蚀国际会议
2017.07.19
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微加工实验室成功举办“2017年微纳米加工技术讲习班”
2017.07.05
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2017年微加工讲习班日程表
2017.05.24
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微加工实验室参加第14届物理所公众科学日展示活动
2017.05.19
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微加工实验室荣获“2017年度中国科学院院所两级公共技术服务中心优秀集体”称号
2017.05.12
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微加工实验室“大面积亚微米加工”新设备介绍
2017.05.10
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关于举办微纳米加工技术讲习班的通知
2017.05.08
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高品质因子的3D环磁共振超材料研究取得重要进展
2017.05.08
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微加工实验室“大面积亚微米加工”新设备介绍
2017.04.18
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微加工实验室举办三维激光直写技术讲座
2017.02.21
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微加工实验室2017年春季培训通知
2016.11.22
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微加工实验室金爱子参加了第七届聚焦离子束技术及学术交流研讨会
2016.10.28
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微加工实验室金爱子参加了第十一届国际真空电子源会议(IVESC 2016)
2016.11.21
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微加工实验室召开重点研发计划重点专项启动会
2016.10.11
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微加工实验室设备预约及刷卡系统使用规定
2016.09.26
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微加工实验室刘哲参加了第42届国际微纳米加工与制造会议(MNE 2016)
2016.09.13
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微加工实验室举办“2016年秋季微加工设备独立操作培训”
2016.07.19
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物理所成功举办“2016年微纳米加工技术讲习班”
2016.07.08
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2016年微加工讲习班日程表
2016.07.04
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微加工实验室的唐成春参加了在日本举行的APCOT2016国际会议
2016.05.27
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祝贺微加工实验室获得牛津仪器“发现科学之美”科学摄影大赛一等奖
2016.05.19
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关于举办微纳米加工技术讲习班的通知
2016.05.18
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微加工实验室参与物理所“公众科学日”活动
2016.05.18
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微加工实验室举办“纳米技术系列讲座”
2016.05.03
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2016年度微加工实验室所内用户交流会
2016.01.13
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祝贺微加工实验室获得2015年度北京市科学技术二等奖
2016.01.13
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微加工实验室举办所内用户交流会
2015.12.11
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2015年秋季微加工实验室设备独立操作培训圆满结束
2015.12.04
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人工超表面结构在圆偏振光偏转领域取得新进展
2015.12.02
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微加工实验室召开FIB用户交流会
2015.11.23
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微加工实验室参加第六届中国FIB技术及学术交流研讨会
2015.10.21
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三维纳米结构的加工与应用研究取得重要进展
2015.09.30
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微加工实验室参加第41届国际微纳米加工与制造会议(MNE 2015)
2015.08.25
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微加工实验室李无瑕参加了在台湾举办的ICOME-T国际会议
2015.08.11
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微加工实验室夏晓翔参加了在美国举办的META15国际会议
2015.07.18
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物理所成功举办“2015年微纳米加工技术讲习班”
2015.06.29
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2015年微加工讲习班日程表
2015.06.02
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微加工实验室全保刚参加了在美国举办的三束国际会议
2015.06.01
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微加工实验室开放课题开始执行通知
2015.05.27
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单晶界结断裂纳米间隙电极对的制备取得进展
2015.05.25
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热烈祝贺微加工实验室2012级博士生顺利答辩
2015.05.18
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关于举办2015年微纳米加工技术讲习班的通知
2015.05.01
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微加工实验室开放课题申请通知
2015.04.01
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2015年微加工春季培训通知
2015.02.12
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扫描探针显微镜和扫描电子显微镜用一维纳米栅格标准物质样品研制成功
2015.02.09
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双层金属纳米结构阵列的可控加工及光学应用研究取得进展
2015.01.24
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“高中生走进科学院实践营”活动
2014.12.25
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2014年微加工实验室设备独立操作顺利完成
2014.09.29
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2014年秋季设备独立操作培训——安全培训通知
2014.09.30
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微加工实验室顾长志、李俊杰参加了在瑞士洛桑举办的微纳制造国际会议
2014.09.19
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2014年秋季设备独立操作培训通知
2014.09.01
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微加工实验室李俊杰、顾长志参加了在墨西哥坎昆举办的国际材料研究大会
2014.07.23
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物理所微加工实验室成功举办“2014年微纳米加工技术讲习班”
2014.06.03
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微加工实验室顾长志、李俊杰参加了在美国举办的三束国际会议