微加工实验室 2016年5月3日
为了提高所内用户微纳加工及测试设备的使用技能，解决微纳加工过程中遇到的具体工艺问题，加强所内合作与交流，推动科研课题的顺利开展，2016年度微加工实验室所内用户交流会于4月26日上午在D210会议室举行，来自不同课题组的新老用户五十余人参加了本次交流会。本次交流会主要包括工艺报告、新设备介绍、用户报告及自由讨论四个环节。
首先，由微加工实验室主任李俊杰致欢迎词，并对交流会举办的目的及微加工实验室的相关发展向大家做了简单的介绍。然后，由微加工实验室的杨海方、夏晓翔、刘哲和唐成春四位老师就大家比较关注的双层胶工艺、金刚石刻蚀工艺、三维微纳结构的折叠/卷曲加工工艺和薄膜悬浮结构加工工艺分别做了报告，对各工艺的基本原理、过程及应用进行了详细的阐述。随后，李无瑕老师对微加工实验室近年来引进的新设备向与会人员做了推荐，对新设备的功能、工艺及应用领域进行了介绍。接着，来自L01组的李家方老师、Q03组的博士生宿非凡、E04的博士生张永辉、N04的博士生王国才分别针对他们的研究课题做了精彩的报告，将他们在微纳加工实验过程中的经验及心得体会与大家进行了分享。最后，N07组的博士生朱珊娜针对实验过程中遇到工艺问题做了微报告，微加工实验室工作人员对其问题进行了现场的解答，并给出了相关的解决方案。同时，利用会议的休息时间，大家就各自关心的问题进行了自由讨论。
本次交流会上，与会人员就报告内容及各自关心的工艺和技术等问题进行了积极的富有建设性的探讨和交流，微加工实验室的各设备负责人全程参加用户交流会，并对大家微纳加工过程中存在的问题进行现场解答，并给出有效的解决方案。
本次用户交流会开拓了与会人员的视野，丰富了大家解决问题的思路，同时也为大家提供了一个相互学习和交流的平台。大家可通过下方链接查阅本次用户交流会的工艺报告（PDF版）资料。
微加工实验室主任李俊杰讲话
微加工实验室工作人员做工艺及设备报告
用户邀请报告
会议现场
工艺报告资料：