2021年6月29日，微加工实验室在M楼组织了装配在日立扫描电镜设备上的能谱仪(EDS, Energy Dispersive Spectrometer)培训会。EDS用于对材料微区成分、元素种类与含量进行分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。该次培训会邀请到牛津仪器公司高级应用工程师姚志刚博士针对能谱仪使用过程中的设备特性、基本操作和典型问题进行了应用培训。

      本次培训会分为上午和下午两场培训，上午主要介绍能谱仪的基本操作，包括针对不同需求和样品如何选择电镜的扫描参数和能谱仪信号获取模式：点扫描、线扫描，面扫描等；以及针对样品要求和分析软件进行了培训。下午主要针对自该设备购买后用户使用过程中遇到的疑难问题给予解答，并利用该设备在各课题组带来具有典型特点的样品上进行了针对性训练。本次培训对实验室的设备的推广和使用均有极好的推动效果。所内有7个课题组派出代表参加了本次培训，并进行了有效的交流。

      微加工实验室的能谱仪是配备在超高分辨冷场电子扫描显微镜上使用的。于2021年6月28日安装完成。希望所内用户在经过本次培训后，结合本组研究方向的特点利用好该设备，加强所内合作与交流，推动物理所科研工作的顺利开展。

姚志刚工程师演示并讲解

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