微加工实验室 2016年10月11日
- 微加工实验室的所有设备都必须提前预约，并按预约时段进行设备使用；在设备使用开始时，必须刷卡上机，使用结束后刷卡下机，并认真登记填写设备使用登记本上的各项信息。
- 设备预约根据用户类型不同，预约方式分别为：
- 所内有设备独立操作资格的用户：自行进行网上预约，登陆中国科学院设备共享管理平台（http://samp.cas.cn）进行预约。网上预约成功后，所预约的使用时段他人无法预约。成功预约的用户在预约时段开始后现场刷卡上机，设备使用完成后刷卡下机。
- PECVD、ICP及ALD设备预约前须与设备负责工程师联系确认后再预约、使用。
- 所内无设备独立操作资格的用户及所外共享管理平台用户：联系设备负责工程师，商定合适的使用时间后，由用户进行网上预约。在预约时段，刷卡使用。
- 所外非共享管理平台用户：联系设备负责工程师，商定合适的使用时间后，由设备负责工程师按照用户的相关信息，代其预约。
- 预约后如无法按时上机，须提前一小时通知设备负责工程师取消预约；如预约时段内无法完成设备使用，随后时段无人预约，则现场补充预约；如随后时段已有人预约，则必须立刻结束设备使用。
- 对于违反预约及刷卡规程的用户，实验室将视其违规严重程度提出警告、暂停或取消其相关设备使用资格。
- 所内用户帐号建立及IC卡绑定方法：实验室设备独立操作培训时，由微加工实验室组织采集用户信息，建立预约系统账号并绑定IC卡；其他没有预约账号的用户可在微加工实验室主页上自行下载填写登记表格（链接http://in.iphy.ac.cn/upload/s22/m/201610111420222394.docx）并发至实验室邮箱（ts@iphy.ac.cn），实验室安排时间读取IC卡信息并完成绑定。
上述内容可参考网页用户指南->规章制度->《微加工实验室设备预约及刷卡系统使用规定》