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清华大学精仪系曹良才教授率课题组访问物理所怀柔研究部微纳米加工平台

      2022年10月27日,清华大学精仪系和启元实验室的曹良才教授带课题组博士后及博士生等一行9人访问物理所怀柔研究部综合极端条件实验装置微纳加工平台,进行参观和交流。物理所微加工实验室主任、怀柔微纳加工平台负责人李俊杰研究员向曹良才教授及课题组人员详细介绍了微纳加工平台的建设过程、设备配置、运行现状、加工能力及近期取得进展与成果等情况,从纳米尺度下的大面积、高精度、多维度加工到纳光子学器件制备和集成研究等方面与曹良才教授进行了深入的交流,平台的纳米结构与器件加工能力和取得研究进展得到曹教授高度评价和充分肯定,表示后续将加强双方交流和合作。李俊杰老师陪同曹良才教授参观了微纳加工平台超净间实验室后,与课题组成员进行了广泛而热烈的交流,并就下一步的双方研究合作的细节进行了全面的讨论。微纳加工平台的张忠山博士和潘如豪博士参加讨论会,并就来访学生提出的微纳加工和器件制备问题给与了详细的解答。此次清华大学曹良才教授课题组对怀柔微纳加工平台的访问和交流,增强了双方的相互了解,为今后的进一步合作奠定了良好的基础。

介绍怀柔微纳加工平台

参观平台的超净实验室

 参观后与课题组交流和讨论