微加工实验室    2016年1月13日

---

     

       为了提高所内微纳加工设备用户的使用技能，解决微纳加工过程中遇到的具体工艺问题，加强所内合作与交流，推动科研课题顺利进行，微加工实验室将定期举办所内用户交流会。依据不同加工设备和加工方法的需求组成不同的用户群，有针对性的交流和探讨微纳加工过程中获得的经验和遇到的难题，微加工实验室的相关设备工程师全程参与并给予全面和及时的解答。

       2016年1月8日下午，微加工实验室组织物理所聚焦离子束刻蚀与沉积系统（FIB）的用户在M202会议室进行了第一次所内用户会议，来自不同课题组的FIB新老用户二十余人参加了交流会。

       交流会由微加工实验室的金爱子和李无瑕老师主持。首先由微加工实验室主任李俊杰讲话，然后来自Q02组的郑亚锐、A06组的时金安、L02组的唐静和EX5组的曹立鹏同学分别就各自利用FIB开展的相关工作进行了介绍。郑亚锐介绍了使用FIB进行金刚石NV色心切割转移，然后进行与量子比特耦合方面的研究心得；时金安分享了用FIB进行TEM样品制备方面的工作与经验；唐静提出了利用FIB对其生长的P-I-N型纳米线进行电极制备遇到的一些问题，最后曹立鹏报告了利用FIB对百微米尺寸的颗粒进行体电极制备方面的工艺和技巧。

       每位同学介绍工作后，与会人员就报告内容进行了积极的富有建设性的探讨和交流，并对样品加工与制备过程中存在的问题给出了相应的解决方案。通过本次FIB用户交流会，与会人员针对FIB使用技术、实验中遇到的问题及实验设计等多方面展开了讨论，开拓了与会人员的视野，丰富了大家解决问题的思路，同时也为大家提供了一个相互学习和交流FIB技术的平台。会上大家讨论积极热烈，各方面受益匪浅。会后在大家的建议下，微加工实验室建立了所内FIB用户的微信群，方便大家及时进行技术交流。

       微加工实验室将陆续举办电子束曝光、光刻及刻蚀设备的所内用户会，敬请大家参与和光临。欢迎关注微加工实验室网站Http://lmf.Iphy.ac.cn，了解微纳加工实验室的最新信息。

微加工实验室主任李俊杰讲话

 

  FIB用户代表介绍工作

 

会上大家积极讨论和交流