中国科学院物理研究所微加工实验室

2021年2月5日，怀柔研究部在材料基因平台A楼五层会议室召开2021年度工作计划交流会，会上微纳加工平台子系统就平台建设、建设进展、近期规划、工艺进展、面临问题展开详细汇报。微纳加工平台子系统各项进度均提前CMP表规划，超净间于2020年11月26日成功验收，评定合格，到目前已经正常运行1680个小时；2台无掩膜曝光设备，7台表征设备以及若干辅助设备完成安装，能够实现光刻、表征；微纳子系统计划将于2021年9月份完成所有设备的安装、调试和验收，争取早日为怀柔园区的“一装置两平台”用户提供服务。