中国科学院物理研究所微加工实验室

清华大学核能与新能源技术研究院的何向明教授带领课题组一行六人于2021年11月25日上午参观了怀柔微纳米加工平台，并为后续的合作研究事宜进行了充分的交流和讨论。何向明教授听取了微纳米加工平台的介绍与仪器设备情况报告，并现场参观考察了超净实验室。通过参观和介绍，何向明教授一行对微纳米加工平台的整体情况、运行模式、加工能力有了充分的了解。参观结束后的座谈会上，何向明教授对微纳米加工平台的加工能力与技术积累表示充分的肯定，认为微纳米加工平台的设备指标与工艺水平完全满足其研究组的科研需求，并进一步探讨了后续的合作方式与技术细节，他期望在微纳米加工平台的支持下，其科研项目将更加高效、顺利的开展。