2022年1月26日下午，微加工实验室组织了怀柔微纳米加工平台设备验收会。中科院微电子所夏洋研究员、半导体所王晓东研究员、国家纳米科学中心韩东研究员作为评审专家在线参加了设备验收会。与会专家在听取了各设备技术指标验收报告后，通过在线视频查看了设备安装调试记录和运行状况，并对相关技术进行了质询。经过讨论，专家一致认为参加验收的7台设备的各项技术指标符合合同要求，通过了各设备的技术验收。验收的设备具备开放共享运行和提供技术服务的能力。

参会人员在线合影

参加验收设备照片