2021年9月29日上午，微加工实验室组织了怀柔微纳米加工平台设备验收会。中科院理化所孟祥敏研究员、半导体所谢亮研究员、国家纳米中心褚卫国研究员作为评审专家参加了设备验收会。与会专家在听取了各设备技术指标验收报告后，现场查看了设备安装调试记录和运行状况。经过讨论，专家一致认为参加验收的7台设备的各项技术指标符合合同要求，通过了各设备的技术验收。验收的设备具备开放共享运行和提供技术服务的能力。

参会人员合影

参会专家现场查看设备运行状况