中国科学院物理研究所微加工实验室

微加工实验室 2016年5月27日

由牛津仪器举办的“发现科学之美”科学摄影大赛于2016年5月10日落下帷幕，微加工实验室刘哲工程师提交的作品《GaN六棱台》和《遗迹》获得了等离子技术组一等奖。

作品-1名称：《GaN六棱台》
作品简介：GaN是一种重要的半导体材料，通常具有六方纤锌矿结构。通过刻蚀过程中不同晶面刻蚀速率的差异能够获得六棱台结构，体现了大自然中无处不在的对称之美。

作品-2名称：《遗迹》
作品简介：硅的低温深刻蚀工艺可以很好的控制结构的侧面形貌，通过各向同性刻蚀将十字形状逐渐变为圆形，仿佛是在空旷原野上的一颗锈迹斑斑的航空炸弹。