2019年12月16日,Materials Views China以《聚焦离子束诱导三维弯曲加工方法及其在超表面器件中的应用》为题,对微加工实验室在聚焦离子束诱导卷曲加工方面的最新进展进行了报道。
该报道对本实验室的工作给予了高度肯定,认为:三维结构相比于平面结构具有更高的可控自由度以及空间构型,在提高器件性能等方面具有重要意义。中国科学院物理研究所微加工实验室李俊杰和顾长志研究员及合作者基于聚焦离子束(FIB)与薄膜材料相互作用产生应变的机制,提出了FIB诱导弯曲的大面积快速三维加工方法;该方法可以使平面结构产生可控弯曲,从而组装形成各种需要的三维微纳结构;利用此方法设计和制备了一种具有高效单向无反射特性的三维弯曲超表面,在近红外区域实现了56%的反射率差值。该加工方法的提出不仅为各种新型微纳光子学器件的研究提供新的平台,也将为其它三维器件的设计加工提供了新的思路。
相关工作以《Rapid Bending Origami in Micro/Nanoscale toward a Versatile 3D Metasurface》为题,做为Back Cover发表在Laser Photonics Rev. 2019, 1900179上。
相关链接:https://www.materialsviewschina.com/2019/12/41798/
文章链接:https://www.onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/lpor.201900179