中国科学院物理研究所微加工实验室

方忠所长于2021年11月26日莅临怀柔综合极端条件实验装置，在吕力主任和郭建东所务委员的陪同下参观考察了微纳米加工平台。方忠所长听取了工作人员的平台建设汇报，并现场参观了超净实验室。参观过程中，方忠所长详细询问了微纳米加工平台的设备安装进度、技术指标以及运行方式等情况，对平台的建设进度与加工能力有了充分的了解。方忠所长对微纳米加工平台的建设和运行给与肯定，并对支撑和保障综合极端条件实验装置及未来科研条件等方面工作提出宝贵建议和希望。