人员构成

李瑶
工程师,工学硕士
电话:15044642509 
传真:-
邮箱:liyao4321@sina.cn
办公地址:物理所怀柔综合极端条件实验装置X2楼213室

工作职责

  • 怀柔微纳加工平台干法刻蚀设备电感耦合等离子体刻蚀系统、反应离子刻蚀系统(2台)和四探针测试系统的责任工程师
  • 负责相关设备正常运行、管理、工艺研究与功能开发。
  • 负责相关设备的培训及设备用户的管理与监督
  • 负责怀柔微纳加工平台超净间内卫生、常用耗材补给、废液回收等
  • 负责怀柔微纳加工平台超净间机房的运行与管理

简历
  • 2015年毕业于长春理工大学,获学士学位。2019年于广西大学获硕士学位,2021年加入中科院物理所怀柔研究部微纳加工实验平台任设备工程师。

研究方向
  • 超宽禁带光电材料的检测与研究
  • 干法刻蚀工艺研发,包括深硅、三五族及金属材料的微纳结构加工技术研究

科研成果
  • 合作发表文章3篇