中国科学院物理研究所微加工实验室

人员构成

● 实验室主任

> 杨海方

● 实验室成员

● 在读学生

● 已毕业学生

> 已毕业学生

李瑶

工程师，工学硕士
电话：010-81258579
传真：010-826498198
邮箱：liyao4321@sina.cn
办公地址：物理所怀柔综合极端条件实验装置X2楼213室

工作职责

怀柔平台刻蚀设备ICP、RIE（2台）、PECVD、四探针电学测试系统的责任工程师
负责怀柔平台机房设备管理，包括空调机组、冷水机组、空压机、超纯水系统、UPS电源、中弱电控制等
负责怀柔平台机房耗材的采购、更换和维护记录

简历

2015年毕业于长春理工大学，获学士学位。2019年于广西大学获硕士学位，2021年加入中科院物理所怀柔研究部微纳加工实验平台任设备工程师。

研究方向

超宽禁带光电材料的检测与研究
干法刻蚀工艺研发，包括深硅、三五族及金属材料的微纳结构加工技术研究

科研成果

合作发表文章3篇