中国科学院物理研究所微加工实验室

人员构成

● 实验室主任

> 杨海方

● 实验室成员

● 在读学生

● 已毕业学生

> 已毕业学生

全保刚

主任工程师，理学博士
电话：010-82648160
传真：010-82648198
邮箱：quanbaogang@iphy.ac.cn
办公地址：中科院物理所M楼910室

工作职责

紫外曝光(2台)、三维激光直写、激光干涉曝光、离子束刻蚀（2台）和多通道化学工作站等设备的责任工程师
C楼实验室百级净化间日常管理，实验室涂胶机、热板、超声仪、水浴箱等设备管理和维护
M 楼化学腐蚀间管理，化学药品及光刻胶的采购与管理
超净间安全培训讲师
协助怀柔微纳加工平台紫外曝光设备的运行和维护

简历

2006年于中国科学院物理研究所获博士学位，2006年-2008年在国家纳米科学中心从事博士后研究，此后，分别在法国国家健康和医学研究院以及国家纳米科学中心做访问学者以及高级工程师，2012年加入中科院物理所任微加工实验室副主任工程师，现任微加工实验室主任工程师。

研究方向

紫外光刻和激光全息干涉曝光工艺研究
真空镀膜（电子束蒸镀、热蒸镀）工艺研究
离子束刻蚀和离子束辅助沉积工艺研究
基于石墨烯超级电容器的制备及应用研究
导电聚合物纳米材料和有机半导体分子自组装工艺及物性研究

科研成果

近年来在国际重要杂志合作发表文章70余篇，获授权专利17项，合作撰写微纳加工方向专著一部。已经完成国家自然科学基金项目1项，目前负责科学院仪器设备功能开发技术创新项目一项。