中国科学院物理研究所微加工实验室

人员构成

● 实验室主任

> 杨海方

● 实验室成员

● 在读学生

● 已毕业学生

> 已毕业学生

潘如豪

副主任工程师，理学博士
电话：010-82649098(中关村)/010-81258505(怀柔)
传真：010-82648198
邮箱：panruhao@iphy.ac.cn
办公地址：中科院物理所M楼201室

工作职责

怀柔平台的高压/低压EBL、HMDS蒸镀系统、共聚焦显微镜、光学显微镜、微波氧等离子体去胶机等设备的责任工程师
怀柔平台百级间管理，包括各种耗材、光刻胶及各种试剂的采购、存放和使用管理
负责怀柔平台的用户安全培训与设备培训管理
负责实验室网站、电子期刊、新闻稿撰写及怀柔平台工作站、电脑、电话、网络设备的维护与管理
负责怀柔平台Beamer软件的维护及升级

简历

2014年于中国海洋大学获得学士学位，后加入中国科学院物理研究所攻读并于2019年获得博士学位，2019-2021年在物理研究所进行岗位博士后研究，现为中国科学院物理研究所副主任工程师

研究方向

微纳光子学结构与器件
人工表面等离激元结构的加工与物性研究

科研成果

合作发表文章12篇，合作申请专利7项
完成中国博士后科学基金面上项目一项，，合作撰写微纳加工方向专著一部