人员构成

杨海方
主任工程师,理学博士
电话:010-82649831
传真:010-82648198
邮箱:hfyang@iphy.ac.cn
办公地址:中科院物理所M楼904室
工作职责
  • 负责实验室值班安排和对外加工服务及流程的监管
  • EBL(C 楼)、激光直写系统、去胶机、净化水系统等设备的责任工程师
  • 超净间监控设备、机房和各种配套设施的管理与维护
  • 超净间安全培训讲师
简历
  • 2003于中科院物理所获博士学位,同年加入中科院物理所任工程师,期间曾在卢瑟福实验室做短期访问学者,2006年任中科院物理所副主任工程师,并赴瑞典德隆大学做短期访问学者,现任中科院物理所微加工实验室主任工程师
研究方向
  • 电子束曝光相关工艺及技术研究
  • 微纳器件的加工及性质方面的研究工作
科研成果
  • 发表SCI文章70余篇,包括Nature Nanotechnology, Adv. Mater., Adv.Func. Mater., Scientific report, Appl.Phy.Lett. 等国际学术期刊
  • 申请发明专利20余项,其中授权10余项
  • 做为课题负责人主持完成973课题一项,国家自然科学基金委及科学院仪器设备改造等项目多项
  • 2011年入选中国科学院“杰出技术人才”计划中的“关键技术人才