中国科学院物理研究所微加工实验室

人员构成

● 实验室主任

> 杨海方

● 实验室成员

● 在读学生

● 已毕业学生

> 已毕业学生

杨海方

主任工程师，理学博士
电话：010-82649831
传真：010-82648198
邮箱：hfyang@iphy.ac.cn
办公地址：中科院物理所M楼904室

工作职责

负责实验室值班安排和对外加工服务及流程的监管
EBL（C 楼）、激光直写系统、去胶机、净化水系统等设备的责任工程师
超净间机房及其各种配套设施的管理与维护
超净间安全培训讲师
协助怀柔微纳加工平台EBL和激光直写设备的运行和维护

简历

2003于中科院物理所获博士学位，同年加入中科院物理所任工程师，期间曾在卢瑟福实验室做短期访问学者，2006年任中科院物理所副主任工程师，并赴瑞典德隆大学做短期访问学者，现任中科院物理所微加工实验室主任工程师

研究方向

电子束曝光相关工艺及技术研究
微纳器件的加工及性质方面的研究工作

科研成果

发表SCI文章70余篇，包括Nature Nanotechnology, Adv. Mater., Adv.Func. Mater., Scientific report, Appl.Phy.Lett. 等国际学术期刊
申请发明专利20余项，其中授权10余项
做为课题负责人主持完成973课题一项，国家自然科学基金委及科学院仪器设备改造等项目多项
2011年入选中国科学院“杰出技术人才”计划中的“关键技术人才