中 文 版
English
首 页
实验室简介
研究方向
人员构成
仪器设备
技术培训
用户指南
信息反馈
人员构成
●
实验室主任
> 李俊杰
●
实验室成员
> 顾长志
> 杨海方
> 全保刚
> 金爱子
> 田士兵
> 张忠山
> 耿广州
> 燕军祥
> 麻皓月
> 潘如豪
●
在读学生
> 杜硕
> 孙驰
> 胡乐勇
> 尤梦翰
> 李慰
> 郑睿瑄
> 李剑博
> 张铭扬
●
已毕业学生
耿广州
工程师,理学工学双硕士学位
电话:010-82649098
传真:010-82648198
邮箱:
genggz@iphy.ac.cn
办公地址:中科院物理所M楼201室
工作职责
EBL(M 楼)、ICP & RIE(M楼)、原子层沉积、白光干涉形貌仪及划片机等设备的责任工程师
协助管理怀柔微纳加工平台的EBL设备的运行和维护
实验室安全监督员,负责机房、净化间水、电和气的安全与设备正常运行
M 楼实验室百级净化间、净化间常用工具的管理
简历
2013于青岛大学获硕士学位,2012年-2014年韩国东义大学硕士研究生,现任中科院物理所微加工实验室工程师
研究方向
Si基、III-V族材料的反应离子刻蚀工艺研究
Si基薄膜的化学气相可控生长工艺研究
三维微纳结构的加工与光电特性研究
科研成果
合作发表文章4篇,合作申请专利4项,其中韩国发明专利1项