人员构成

耿广州

工程师,理学工学双硕士学位
电话:010-82649098
传真:010-82648198
邮箱:genggz@iphy.ac.cn
办公地址:中科院物理所M楼201室

工作职责
  • EBL(M 楼)、ICP & RIE(M楼)、原子层沉积、白光干涉形貌仪及划片机等设备的责任工程师
  • 协助管理怀柔微纳加工平台的EBL设备的运行和维护
  • 实验室安全监督员,负责机房、净化间水、电和气的安全与设备正常运行
  • M 楼实验室百级净化间、净化间常用工具的管理
简历
  • 2013于青岛大学获硕士学位,2012年-2014年韩国东义大学硕士研究生,现任中科院物理所微加工实验室工程师 
研究方向
  • Si基、III-V族材料的反应离子刻蚀工艺研究
  • Si基薄膜的化学气相可控生长工艺研究
  • 三维微纳结构的加工与光电特性研究
科研成果
  • 合作发表文章4篇,合作申请专利4项,其中韩国发明专利1项