中国科学院物理研究所微加工实验室

人员构成

● 实验室主任

> 杨海方

● 实验室成员

● 在读学生

● 已毕业学生

> 已毕业学生

耿广州

工程师，理学工学双硕士学位
电话：010-82649098
传真：010-82648198
邮箱：genggz@iphy.ac.cn
办公地址：中科院物理所M楼201室

工作职责

M楼EBL、ICP 、 RIE、原子层沉积（2台）、划片机等设备的责任工程师
协助怀柔微纳加工平台的EBL设备的运行和维护
实验室安全监督员，全面负责实验室各项安全
负责M楼及C楼液氮的供应
实验室M 楼百级净化间日常管理

简历

2013于青岛大学获硕士学位，2012年-2014年韩国东义大学硕士研究生，现任中科院物理所微加工实验室工程师

研究方向

Si基、III-V族材料的反应离子刻蚀工艺研究
Si基薄膜的化学气相可控生长工艺研究
三维微纳结构的加工与光电特性研究

科研成果

合作发表文章4篇，合作申请专利4项，其中韩国发明专利1项