中国科学院物理研究所微加工实验室

人员构成

● 实验室主任

> 杨海方

● 实验室成员

● 在读学生

● 已毕业学生

> 已毕业学生

季旭

工程师，工学硕士
电话：010-81258579
传真：010-82648198
邮箱：jixu@iphy.ac.cn
办公地址：物理所怀柔综合极端条件实验装置X2楼217室

工作职责

怀柔平台多腔体磁控溅射、多腔/单腔/富氧电子束蒸发、原子层沉积、离子束溅射沉积等设备的责任工程师
负责怀柔平台千级区、灰区及储存室的日常管理，包括样品柜、常用工具、桌、椅、货架、推车及储存室物品等
负责超净间各种沉积靶材、前驱体、沉积所需材料等购置与管理
协助中关村平台的薄膜沉积设备运行和管理

简历

2019年于内蒙古工业大学获硕士学位，现任中科院物理所微加工实验室工程师

研究方向

电子束蒸发高质量金属薄膜技术与工艺
CVD单晶金刚石的生长

科研成果

发表文章1篇，申请专利1项