人员构成

燕军祥
工程师,理学硕士
电话:010-82649098
传真:010-82648198
邮箱:yanjunxiang@iphy.ac.cn
办公地址:中科院物理所M楼201室

工作职责
  • 电子束蒸发、热蒸发和微波等离子等薄膜沉积设备的责任工程师
  • 负责怀柔微纳加工平台多腔体磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发及原子层沉积等薄膜沉积系统的运行和管理
  • 负责怀柔微纳加工平台千级功能区域的日常管理,各种超净间耗材和工具的采购

简历
  • 2019年于青岛大学获硕士学位,现任中科院物理所微加工实验室工程师

研究方向
  • CVD单晶金刚石的生长

科研成果
  • 发表文章1篇,申请专利3项