中国科学院物理研究所微加工实验室

人员构成

● 实验室主任

> 杨海方

● 实验室成员

● 在读学生

● 已毕业学生

> 已毕业学生

金爱子

副主任工程师，理学硕士
电话：010-82648198
传真：010-82648198
邮箱：azjin@iphy.ac.cn
办公地址：中科院物理所M楼202室

工作职责

FIB、纳米压印、纳米压痕仪、台阶仪（2台）、引线仪（2台）、小溅射台和光学显微镜（6台）等设备的责任工程师，还包括超净间监控设备、电子天平、标签机、封口机等小设备的管理和维护
实验室公共耗材的购置与监管，公共资料存档，房间钥匙、门禁与监控系统和固定资产等管理
超净间设备培训、设备独立操作证书发放、讲习班事务及院设备共享平台等管理
实验室设备机时统计与收费的管理
协助管理怀柔微纳加工平台的FIB设备的运行和维护

简历

2002于吉林大学获硕士学位，同年加入中科院物理研究所，2010年在瑞典德隆大学做短期访问学者，现任中科院物理所微加工实验室副主任工程师

研究方向

聚焦离子束双束系统及纳米压印等微纳米加工工艺的研究
微纳米器件的加工及性能方面的研究

科研成果

合作发表论文60余篇，申请专利7项，其中3项已授权