中国科学院物理研究所微加工实验室

人员构成

● 实验室主任

> 杨海方

● 实验室成员

● 在读学生

● 已毕业学生

> 已毕业学生

张忠山

副主任工程师，工学博士
电话：010-81258580
传真：010-82648198
邮箱：zhangzs@iphy.ac.cn
办公地址：物理所怀柔综合极端条件实验装置X2楼213室

工作职责

C 楼 ICP 、 RIE、PECVD、ICP-PECVD、应力仪等设备的责任工程师
怀柔平台FIB、IBE、激光切片机、椭偏仪、小溅射台及应力仪的责任工程师
负责本部及怀柔平台的普气、特气房、液氮罐及过滤系统的维护管理和气体采购
负责怀柔平台的化学腐蚀间、监控室、会议室的维护和管理
负责怀柔平台值班安排、用户培训及出入超净间管理，平台课题及用户管理
负责怀柔平台设备资料、技术验收、设备操作说明、工作安排岗位职责等方面的存档管理
监督怀柔平台整体运行情况

简历

2016于苏州大学获博士学位，2016年-2018年中科院声学所博士后，现任中科院物理所微加工实验室副主任工程师

研究方向

干法刻蚀技术与工艺
芯片级原子钟
薄膜体声波谐振器
MEMS/NEMS传感器

科研成果

发表文章14篇，授权专利15项。2018年入选中国科学院物理研究所“引进国外杰出人才”计划中的“关键技术人才”。
主持国家自然科学基金项目一项，负责科学院仪器设备功能开发技术创新项目一项。