人员构成

张忠山

副主任工程师,工学博士
电话:010-82649098
传真:010-82648198
邮箱:zhangzs@iphy.ac.cn
办公地址:中科院物理所M楼201室

工作职责
  • C 楼 ICP 、 RIE、PECVD、ICP-PECVD、椭偏仪、快速退火炉等设备的责任工程师
  • 负责怀柔微纳加工平台各种刻蚀系统ICP、RIE、IBE及PECVD沉积系统的运行维护和管理
  • 负责本部及怀柔平台的普气和特气房的维护管理和气体采购
  • 负责怀柔微纳加工平台化学腐蚀间的维护和管理
简历
  • 2016于苏州大学获博士学位,2016年-2018年中科院声学所博士后,现任中科院物理所微加工实验室副主任工程师 
研究方向
  • 芯片级原子钟
  • 薄膜体声波谐振器
  • MEMS/NEMS传感器
科研成果
  • 发表文章14篇,授权专利15项。2018年入选中国科学院物理研究所“引进国外杰出人才”计划中的“关键技术人才”。
  • 主持国家自然科学基金项目一项