中国科学院物理研究所微加工实验室

人员构成

● 实验室主任

> 杨海方

● 实验室成员

● 在读学生

● 已毕业学生

> 已毕业学生

杨乐臣

副主任工程师，理学博士
电话：010-81258579
传真：010-82648198
邮箱：lcyang@iphy.ac.cn
办公地址：物理所怀柔综合极端条件实验装置X2楼217室

工作职责

怀柔平台电感耦合等离子刻蚀机，电感耦合等离子金属刻蚀机，扫描电子显微镜，微波等离子体去胶机，台阶仪，快速退火炉等设备的责任工程师。

简历

2022年毕业于中国科学院物理研究所获得博士学位，现为中国科学院物理研究所副主任工程师

研究方向

拓扑光子学结构与器件
微纳光子学结构与器件
拓扑腔(光子晶体)面发射激光器特性与应用研究

科研成果

以第一作者发表在Nature Photonics、Nature Nanotechnology等刊物；迄今共发表论文15篇，授权国内发明专利8项、国际发明专利PCT专利（日本、加拿大）1项。2023年入选中国科学院物理研究所“引进国外杰出人才”计划中的“关键技术人才”。